酷游

微电子

微电子用水解决方案

酷游为要求严苛的半导体市场打造了完全集成的超纯水设备和废水回收/循环系统

包括锅炉、冷却塔、闭路系统、CMP、流入水和废水系统、监测以及诊断。

  • 微电子生产清洗硅片所用的超纯水、半导体材料、器件、电解电容生产铝箔及工作件的清洗用水

  • 适用于CMP、晶片抛光、清水冲洗、切割和背面研磨的即用型超纯水设备

  • 来自海水或苦咸水水源的纯水设备

  • 通过水回收和回用系统,减少重金属、废酸、颗粒物和有机物含量的废水回用设备

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